辉光放电论文

衬底下磁场磁控管对溅射辉光和薄膜梯度的影响

一、基片下磁场磁控对溅射辉光及薄膜梯度的影响（论文文献综述）葛晓琴[1]（2021）在《低激活温度的非蒸散型吸气剂薄膜在大型粒子加速器中的应用研究》文中研究说明未来合肥先进光源...